高效過濾器一般都在系統(tǒng)風(fēng)量和各風(fēng)口風(fēng)量調(diào)整平衡后進(jìn)行,根據(jù)規(guī)范要求各風(fēng)口風(fēng)量與設(shè)計(jì)的風(fēng)量偏差小于15%[2],這滿足被檢風(fēng)口在接近設(shè)計(jì)風(fēng)速下進(jìn)行的條件。所以當(dāng)風(fēng)量平衡好后要及時進(jìn)行高效過濾器泄漏的檢測工作。在工程上對于大于5 級(100 級)的凈化系統(tǒng)一般采用的粒子計(jì)數(shù)器的最小粒徑通道為0.3 μm,所以被檢高效過濾器在上風(fēng)側(cè)的微粒濃度受粒徑為大于等于0.5 μm,其濃度必須大于等于3.5 × 104 pc/L,而一般大氣塵的濃度為5.3 × 104 pc/L~2.5 × 105 pc/L[3],這到了粒子計(jì)數(shù)器的讀數(shù)上限范圍。許多凈化系統(tǒng)進(jìn)入循環(huán)空調(diào)箱的新風(fēng)經(jīng)過過濾器的處理,其濃度遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于大氣塵濃度,和回風(fēng)混和后的濃度會更低,在安裝好的凈化空調(diào)系統(tǒng)引入大氣,是值得慎重思考的問題。為了保證被檢空氣過濾器上游粒子濃度的一定要求,而不破壞系統(tǒng)風(fēng)量的平衡,在上游引入均勻濃度的人工氣溶膠是理想的手段。而引入的氣溶膠濃度到底需要多少,這其實(shí)跟安裝的高效過濾器的效率和粒子計(jì)數(shù)器的分辨率有關(guān)。顯而易見粒子計(jì)數(shù)器最小位是個位,最小數(shù)為零。測試儀器一般會有死區(qū),如果要求的下游的濃度小于10 顆為合格,這些數(shù)據(jù)是否有效,按照統(tǒng)計(jì)學(xué)的原理是很難保證的。現(xiàn)在國內(nèi)大多以美國DOP試驗(yàn)對0.3 μm的粒子的過濾效率作為高效過濾器的分類。所以采用計(jì)數(shù)掃描法檢漏時,被測粒徑應(yīng)為大于等于0.3 μm,這會對上游濃度有更高要求。按高效過濾器的效率99.97%,采用公式(1)計(jì)算,下游濃度保證3個有效數(shù)字以內(nèi),則要求上游空氣中粒徑大于等于.3 μm 的微粒濃度至少約為6 × 104pc/L,如果采用效率99.99% 效率的高效過濾器,上游大于等于0.3 μm 的微粒濃度約為2 × 105pc/L,這時上游大于等于0.5 μm 的濃度,遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于等于3.5 × 104pc/L,采用大氣作為塵源已經(jīng)不能滿足測試要求。高效過濾器的安裝泄漏檢測時,采用大流量的粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行采樣更為合適,空氣采樣量越大,采樣測試的結(jié)果則越具有代表性,準(zhǔn)確度也就越高。規(guī)范要求1 L/min,而我們使用儀器的采樣量大都為0.1 cfm(2.83 L/min),滿足此測試儀器的要求。使用移動采樣頭在高效過濾器下側(cè)采用時,以規(guī)格為610 mm × 610 mm 高效過濾器為例,器,采樣速度更慢時,檢漏掃描的時間更長,這會大大影響檢漏的工作效率。如果按照國際規(guī)范ISO14644-3《Metrology and test methods》計(jì)算掃描速率和可接受觀測計(jì)數(shù),這對一般工程技術(shù)人員掌握這樣的計(jì)算法則,是比較困難的。今后國家在制定這方面的規(guī)范時,對不同級別的高效過濾器,可建議采用合適的采樣速率和可接受觀測計(jì)數(shù),這于工程測試人員實(shí)際操作。DOP 粒子掃描正壓檢漏的應(yīng)用于規(guī)范在實(shí)際操作中,在采樣時間,所需上游粒子濃度等要求值得檢測者注意,在實(shí)際工程中可操作性。作者在參與某一制藥廠凈化車間的高效過濾器的檢漏時,結(jié)合日本JIS-B-9927、美國FEDSTD-209D 標(biāo)準(zhǔn),采用Laskin DOP 粒子發(fā)生器生大量穩(wěn)定的符合要求的微粒子,以造成上游大于等于0.3 μm 粒子濃度大于或等于1 × 105 pc /L。在過濾器上游通過壓縮空氣(冷發(fā)生)將DOP微粒均勻噴射在系統(tǒng)內(nèi)[4],由于濃度一般大于1 × 105c/L,超出檢測儀器測量范圍,所以在檢測儀器前串聯(lián)粒子濃度稀釋器,使被測濃度在檢測儀器測量范圍。粒子發(fā)生系統(tǒng)及其上游濃度測定系統(tǒng)見圖2,采用冷發(fā)生氣溶膠裝置主要因?yàn)槟芊€(wěn)定快速的發(fā)生大量氣溶膠。采樣速度20 mm/s,采用矩形100 mm × 11.33 mm 采樣器[4],則需要耗時至少約244 s,如采用圓形采樣