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    ISO14644.1~7潔凈室及相關受控環(huán)境國際標準(中文版)

    下載次數(shù):0 瀏覽次數(shù):3747發(fā)布時間:2017-02-04 18:48
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    文檔詳情

    1 范圍

    ISO 14644 的本部分是根據(jù)空氣中懸浮粒子濃度來劃分潔凈室及相關受控環(huán)境中空氣潔

    凈度的等級。只有在 0.1μm-0.5μm 的閾值(低于閾值)粒徑范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群體

    才可供分級用。

    ISO 14644 的本部分不包含 0.1μm-0.5μm 規(guī)定粒徑范圍以外的粒子群體的分級。超微

    粒子(<0.1μm )和大粒子(>0.5μm)可分別以 U 描述符和 M 描述符來量化粒子群體。

    ISO 14644 的本部分不能用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性或生存性。

    注 粒徑遵紀守法增范圍內(nèi)粒子濃度的實際分布情況通常是不可預測的,并且是隨著時間而變化的。

    2 定義

    下述定義適用于 ISO 14644 的本部分

    2. 1 通則

    2. 1. 1

    潔凈室

    空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設和使用方式要盡可能減少室內(nèi)引入、產(chǎn)生和

    滯留粒子,室內(nèi)其它相關參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進行控制。

    2. 1. 2

    潔凈區(qū)

    懸浮粒子濃度受控的限定空間。空間的建設和使用方式要盡可能減少區(qū)內(nèi)引入、產(chǎn)生和

    滯留粒子,空間內(nèi)其它相關參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進行控制。

    注:該區(qū)可以是開放式或是密閉式,可以位于或不位于潔凈室內(nèi)。

    2. 1. 3

    設施

    潔凈室或一個或多個潔凈區(qū),連同所有相關的構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)、動力和公用設施。

    2. 1. 4

    分級

    適用于一個的懸浮粒子潔凈度等級(或規(guī)定或確定該等級的過程),以 ISO 等級 N 來表

    示,它表示所考慮的粒徑的最大允許濃度(以 pc/m3 空氣計)。

    注 1 此濃度用 3.2 中的公式(1)確定。

    注 2 按照本國際標準進行分級,限定在 ISO 1 級至 ISO 9 級。

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