引言

    許多工業(yè)廠房對(duì)廠內(nèi)的空氣潔凈度有一個(gè)很

高的要求，潔凈廠房的潔凈級(jí)別常以單位體積的

空氣中最大允許的顆粒數(shù)即粒子計(jì)數(shù)濃度來(lái)衡

量。舊的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E“潔凈室及潔凈區(qū)

中空氣懸浮粒子潔凈度級(jí)別”[1]已經(jīng)在2001年

11月29日被新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)IS014644-1“潔凈室

及相關(guān)受控環(huán)境，第一部分:空氣潔凈度等級(jí)”

和IS014644-2“潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境，第二部

分:認(rèn)證IS014644-1相符性的測(cè)試和監(jiān)測(cè)技術(shù)

條件”[z]所取代。為了和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)盡快接軌，

我國(guó)根據(jù)ISO 14644制定了新的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB50073 -2001“潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”[3]，此規(guī)

范已在2002年1月開(kāi)始執(zhí)行。在國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

IS014644和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB500073 -2001中潔凈室

的潔凈度劃分為9級(jí)。

    光散射式塵埃粒子計(jì)數(shù)器是用來(lái)測(cè)量空氣潔

凈度的重要儀器。在安裝好的潔凈室的實(shí)際測(cè)量

中經(jīng)常發(fā)現(xiàn)，使用不同的粒子計(jì)數(shù)器得到的測(cè)量

結(jié)果相差很大，有時(shí)差值差到一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種

測(cè)量偏差直接影響潔凈室環(huán)境的潔凈級(jí)別的最終