PMS LASAIR II 110 粒子計數(shù)器

Lasair II-110 是第一款1.0 CFM流量的激光二極管粒子計數(shù)器，能夠監(jiān)測0.1um粒子。這款計數(shù)器的功能非常全面，監(jiān)測精準度極高，性能穩(wěn)定，使用成本低，使用壽命長，并帶有3年激光部件保修。

優(yōu)點

降低缺陷率

實時監(jiān)測導(dǎo)致制程缺陷的粒子變化

使用移動式計數(shù)器定位粒子污染源

排除多管采樣的常見漏計錯誤

附件配備齊全，適用于多種應(yīng)用

0.1um粒子監(jiān)測效率高于傳統(tǒng)設(shè)備

提高生產(chǎn)效率

存儲/導(dǎo)出采樣方案，節(jié)省潔凈室認證時間

通過辦公室電腦和網(wǎng)絡(luò)瀏覽器控制潔凈室監(jiān)測：

設(shè)置，采樣，顯示，打印，下載數(shù)據(jù)，上傳采樣方案等

噪音極小，有利于改善工作環(huán)境

可選擇9種語言顯示和打印

符合ISO,FS或英國標準的計算統(tǒng)計和報告

同F(xiàn)acility Net 軟件整合，用于全面數(shù)據(jù)管理

告訴下載數(shù)據(jù)至EXCEL ,PDA 或USB存儲器

成本低

使用同一臺粒子計數(shù)器進行ISO Class 1-9 應(yīng)用

無需頻繁清洗激光部件

泵的使用壽命長，無需每年更換葉片

容易清洗擦拭，設(shè)計有利于將粒子截留建至最少

符合ESA/ESD標準的KYDEX機殼，非常結(jié)實，抗化學(xué)腐蝕

低溫激光二極管使用壽命更長；激光部件保修3年

性能

激光二極管

功能全面，噪音極小，使用方便

6個粒徑通道：0.1-5.0um

可存儲多達3000套樣本參數(shù)，可進行數(shù)據(jù)審核，分檢，過濾，打印

USB數(shù)據(jù)下載至閃存卡鍵

內(nèi)置熱敏打印機

彩色液晶大顯示屏：視覺效果佳，數(shù)據(jù)顯示量大

安靜的無碳鼓風機/泵；泵和機柜排氣過濾

可整合多達6個環(huán)境傳感器

可選購適用于ISO 1-4 級潔凈度的高效過濾器

可選購供8小時連續(xù)移動使用的電池/充電器

應(yīng)用

潔凈室監(jiān)測，高靈敏度應(yīng)用，滿足ISO，F(xiàn)S 或英國標準的設(shè)施認證

LASAIR II-110規(guī)格

通道極限值： 0.1，0.2，0.3，0.5，1.0，5.0um

流量： 1CFM

校準： 可追蹤校準材料，符合NIST標準

測試方法： 微分遷移分析法驗證0.1um粒子

最大濃度： 大于500,000/立方英尺

零點計數(shù)： 超過JIS標準，適用于ISO class 1和2潔凈室

激光源： 激光二極管，最大3W（正常使用為2W）

激光冷卻： 熱電冷卻，散熱片

保修： 3年激光模塊保修，2年其它組件保修

通訊模式： 以太網(wǎng)或RS-232;可選購4-20mA輸出版；USB輸出

環(huán)境傳感器： 可選購溫度/相對濕度探頭；通過4-20mA輸入整合多達4臺外部傳感器

顯示： 1/4VGA彩色液晶顯示器

顯示語言： 英語，法語，德語，意大利語，日語，韓語，西班牙語，中文

打印機： 內(nèi)置熱敏打印機

報告： 樣本打印帶；ISO/FS209/英國標準的潔凈室規(guī)則達標最終報告；多次運行平均值；警報打??；采樣配置打印

遠程控制： 通過網(wǎng)絡(luò)瀏覽器操作設(shè)備；保存或運行采樣方案

軟件關(guān)鍵性能：采樣方案，預(yù)定采樣，歷史數(shù)據(jù)篩選，分檢和審核，密碼保護

數(shù)據(jù)存儲： 3000套數(shù)據(jù)

數(shù)據(jù)和采樣安全： 存儲的數(shù)據(jù)記錄不可更改；采樣方案可由密碼保護

外表面： KYDEX底盤，聚酯顯示屏，鍍鋅鋼底座均符合ESA/ESD標準

清潔材料： 漂白劑，甲醛，乙/異丙醇，過氧化氫

監(jiān)測清潔度： 內(nèi)部過濾專用泵排氣和機柜排氣

尺寸： 45 X 35 X 32 cm

電源： 85-264V，50-60Hz

工作環(huán)境： 溫度15-30攝氏度；濕度 10-85% 非冷凝